Распад твердого раствора межузельного магния в кремнии

Изучался распад твердого раствора межузельного магния Mg$_{i}$ в кремнии. В опытах использовался бестигельный бездислокационный монокристаллический $n$-Si c величиной удельного сопротивления $\sim$8 $\cdot$ 10$^{3}$ Ом $\cdot$ см, содержанием кислорода $\sim$5 $\cdot$ 10$^{14}$ см$^{-3}$ и углерода $\sim$1 $\cdot$ 10$^{15}$ см$^{-3}$. Образцы легировались диффузионным сандвич-методом при $T$ = 1100$^\circ$C и закаливались. Распад пересыщенного твердого раствора Mg$_{i}$ изучался путем исследования кинетики увеличения удельного сопротивления легированных образцов в результате отжигов в диапазоне $T$ = 400–620$^\circ$C. Найдено, что процесс распада характеризуется энергией активации $E_{a}\approx$ 1.6 эВ, что близко к определенной ранее энергии активации диффузии Mg$_{i}$ в кремнии. Показано также, что при температурах, не превышающих 400$^\circ$C, Si : Mg обнаруживает стабильные свойства, что важно при его возможном практическом использовании.