RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 2, страницы 258–266 (Mi phts5598)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Электрофизические и фотолюминесцентные исследования сверхрешeток $\{\mathrm{LT}-\mathrm{GaAs/GaAs} : \mathrm{Si}\}$ выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках GaAs с ориентацией (100) и (111)А

Г. Б. Галиев, Е. А. Климов, А. Н. Клочков, В. Б. Копылов, С. С. Пушкарев

Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники им. В. Г. Мокерова РАН, г. Москва

Аннотация: Представлены результаты исследования впервые предложенных и выращенных полупроводниковых структур, сочетающих свойства LT-GaAs и $p$-тип проводимости при легировании кремнием. Структуры представляют собой сверхрешeтки $\{\mathrm{LT}-\mathrm{GaAs/GaAs} : \mathrm{Si}\}$, где слои LT-GaAs выращены при низкой температуре, в диапазоне 280–350$^\circ$С, а слои GaAs:Si – при более высокой температуре, 470$^\circ$С. Дырочный тип проводимости при легировании кремнием обеспечивался использованием подложек GaAs (111)A, выбором температуры роста и соотношения потоков As$_{4}$ и Ga. Концентрация дырок монотонно уменьшается с понижением температуры роста слоeв LT-GaAs от 350 до 280$^\circ$С, что объясняется увеличением шероховатости границ раздела слоeв и формированием обеднeнных носителями заряда областей на границах слоeв GaAs:Si и LT-GaAs. Эволюция спектров фотолюминесценции при 77 K, вызванная изменением температуры роста LT-GaAs, интерпретирована как обусловленная изменением концентрации точечных дефектов Ga$_{\mathrm{As}}$, $V_{\mathrm{Ga}}$, а также комплексов Si$_{\mathrm{Ga}}$$V_{\mathrm{Ga}}$, $V_{\mathrm{As}}$–Si$_{\mathrm{As}}$, Si$_{\mathrm{As}}$–Si$_{\mathrm{Ga}}$.

Поступила в редакцию: 24.05.2018
Исправленный вариант: 07.06.2018

DOI: 10.21883/FTP.2019.02.47110.8918


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:2, 246–254

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024