Солнечные элементы на основе МДП структур с туннельно тонким диэлектриком

Рассмотрены электрофизические свойства кремниевых солнечных элементов на основе МТДП структур с просветляющим покрытием из пленки пятиокиси тантала (Та$_{2}$O$_{5}$), полученной реактивным магнетронным распылением.