Физика и техника полупроводников,
1987, том 21, выпуск 3,страницы 393–399(Mi phts599)
Сильно легированные и сильно компенсированные гетероэпитаксиальные
пленки германия
Н. П. Гарбар, Л. А. Матвеева, В. Ф. Митин, Ю. А. Тхорик, Р. Харман, Ю. М. Шварц, З. Шроубек
Аннотация:
Тонкие (0.1$-$0.5 мкм) монокристаллические сильно
легированные и сильно компенсированные гетероэпитаксиальные пленки
германия получены путем термического испарения Ge на подложки
полуизолирующего GaAs. Степень компенсации зависит от условий осаждения
пленок и может достигать значения ${K=1}$. Легирование и компенсация
осуществляются за счет диффузии в растущую пленку атомов Ga и As.
Исследованы температурная зависимость удельного сопротивления пленок,
эффект Холла, магнитосопротивление, спектры токового шума, электроотражение.
Электрофизические и оптические свойства определяются наличием композиционного
беспорядка. Оценка характерных размеров флуктуаций потенциала в исследованных
пленках указывает на переход к двумерной проводимости.