RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1986, том 20, выпуск 2, страницы 270–274 (Mi phts60)

Деформационные заряды изовалентных примесей в кремнии

В. Е. Кустовa, М. Г. Мильвидскийa, Ю. Г. Семеновa, Б. М. Туровскийa, В. И. Шаховцовa, В. Л. Шиндич

a Институт физики АН УССР, г. Киев

Аннотация: С помощью изучения спектров ЭПР тензочувствительного зонда — междоузельного Fe$^{0}$ в кремнии, легированном оловом или германием, на основании проведенного расчета определены деформационные заряды олова и германия в монокристаллическом кремнии: ${A_{\text{Sn}}=(8\pm2)\cdot10^{-25}}$, ${A_{\text{Ge}}=(1.2\pm0.4)\cdot10^{-25}\,\text{см}^{3}}$. Из анализа полученных экспериментальных и приведенных в литературе данных сделан вывод о линейной зависимости деформационного заряда изовалентных примесей в кремнии от разницы ковалентных радиусов этих примесей и кремния: ${A_{\text{ИВП}}= (4.0\pm0.1)\cdot10^{-16}}$ (${r_{\text{ИВП}}-r_{\text{Si}})\,\text{см}^{3}}$.

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 20.06.1985
Принята в печать: 01.08.1985



© МИАН, 2024