RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2017, том 51, выпуск 1, страницы 36–39 (Mi phts6254)

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Рост, структура и морфология поверхности эпитаксиальных пленок CdTe

И. Р. Нуриевa, М. А. Мехрабоваb, А. М. Назаровa, Р. М. Садыговa, Н. Г. Гасановc

a Институт физики им. Г.М. Абдуллаева Национальной академии наук Азербайджана, Баку, Азербайджан
b Институт радиационных проблем НАН Азербайджана, Баку, Азербайджан
c Бакинский государственный университет

Аннотация: Проведено исследование структуры и морфологии поверхности эпитаксиальных пленок CdTe, выращенных на стеклянных подложках без компенсации и с компенсацией дополнительным источником паров Те в процессе роста. Определены оптимальные условия ($T_{\operatorname{so}}$ = 1000–1100 K, $T_{\operatorname{su}}$ = 570–670 K) получения эпитаксиальных пленок с совершенной структурой и чистой, гладкой поверхностью, без включения второй фазы. Установлено, что на стеклянных подложках эпитаксиальные пленки растут плоскостью (111) кубической границентрированной решетки с параметром $a$ = 6.481 $\mathring{\mathrm{A}}$.
Регулированием температуры основного и компенсирующего источников получены пленки CdTe c $n$- и $p$-типом проводимости.

Поступила в редакцию: 28.04.2015
Принята в печать: 18.05.2016

DOI: 10.21883/FTP.2017.01.43992.7947


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2017, 51:1, 34–37

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024