Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления

Предложен способ создания прозрачных проводящих покрытий на основе оксида индия и олова с контролируемым значением показателя преломления. Способ заключается в последовательном нанесении материала методами электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления. Разная плотность получаемых покрытий и соответственно различные значения их показателя преломления достигаются варьированием соотношения массовых долей вещества, наносимого разными методами. В качестве примера продемонстрировано получение пленок с эффективными значениями показателя преломления 1.2, 1.4, 1.7 в диапазоне длин волн 440–460 нм. На основе предложенного метода также созданы двухслойные покрытия ITO с контролируемым значением показателя преломления входящих в них слоев, что открывает возможность получения многослойных прозрачных проводящих покрытий с требуемыми оптическими свойствами.