Состав и оптические свойства аморфных пленок $a$-SiO$_{x}$:H с нанокластерами кремния

Исследованы фазовый состав и оптические свойства гидрированных аморфных пленок субоксида кремния ($a$-SiO$_{x}$:H) c нанокластерами кремния. Методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии установлено, что с помощью модуляции DC-разряда можно получить пленки субоксида кремния с разной степенью окисления и с различной концентрацией кластеров аморфного кремния. В пленках с содержанием ncl-Si около 50% наблюдается край оптического поглощения, экстраполяция которого дает оценки оптической ширины запрещенной зоны около 3.2–3.3 эВ. При этом в видимой области наблюдаются довольно интенсивные полосы фотолюминесценции, положение максимумов которых свидетельствует о формировании в этих пленках нанокластеров кремния с размерами 2.5–4.7 нм в зависимости от состава пленки.