Аннотация:
Предложена технология создания полностью гибридных микрорезонаторов на основе пленок Zn(S)Se и аморфных диэлектрических покрытий SiO$_{2}$/Ta$_{2}$O$_{5}$. Продемонстрировано влияние всех ступеней технологического цикла на структуру экситонных состояний в пленках Zn(S)Se. Данное влияние сводится к четырем основным эффектам: появление тонкой структуры у линий излучения свободных экситонов; уменьшение относительного вклада в спектр излучения экситонов, связанных на нейтральных акцепторах; низкочастотный сдвиг линий излучения экситонно-примесных комплексов и свободных экситонов; уменьшение расщепления между линиями излучения легких и тяжелых экситонов. Созданы образцы полностью гибридных микрорезонаторов, в которых удается сохранить высокое структурное и оптическое качество пленок Zn(S)Se.
Поступила в редакцию: 14.04.2015 Принята в печать: 20.04.2015