Исследование методом емкостной спектроскопии кремния $n$-типа, легированного магнием

Методом DLTS исследован кремний $n$-типа, легированный магнием при высокотемпературной диффузии. После диффузии в верхней половине запрещенной зоны наблюдаются уровни $E_{c}{-}0.18$, $E_{c}{-}0.25$, $E_{c}{-}0.38$, $E_{c}{-}0.40$ эВ, принадлежащие разным дефектным центрам, содержащим магний. Анализ спектров позволил сделать вывод, что дефекты, которым соответствуют уровни $E_{c}{-}0.25$ и $E_{c}{-}0.40$ эВ, собраны в скопления. Их формирование и перестройки продолжаются и при комнатной температуре. Центр с уровнем $E_{c}{-}0.38$ эВ стабилен при комнатной температуре.