RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2024, том 58, выпуск 5, страницы 272–277 (Mi phts6752)

Физика полупроводниковых приборов

Воспроизводимость электрофизических характеристик транзисторных структур на основе гетеросистемы графен–CaF$_2$–Si(111)

М. И. Векслерa, Ю. Ю. Илларионовab, А. Г. Банщиковa, T. Knoblochb, И. А. Ивановa, T. Grasserb, Н. С. Соколовa, Ш. А. Юсуповаa

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Институт микроэлектроники Технического университета гор. Вены, 1040 Вена, Австрия

Аннотация: Изучены статистические распределения тока в серии транзисторных структур с двумерными пленками графена поверх изолирующего слоя фторида кальция, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Рассмотренное сочетание материалов является новым в данной сфере. Полученные характеристики структур оказались в достаточной мере привлекательными, а величины вариации их параметров (дисперсия тока стока, разброс положения точки зарядовой нейтральности по току и напряжению) вполне допустимыми. Исследования в указанной области значимы для развития “двумерной” электроники, основанной на транзисторах, прототипами которых служат структуры обсуждаемого типа.

Ключевые слова: 2D электроника, графен, фторид кальция, надёжность.

Поступила в редакцию: 24.05.2024
Исправленный вариант: 07.06.2024
Принята в печать: 07.07.2024

DOI: 10.61011/FTP.2024.05.58764.6719



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025