Модификация структуры нанокристаллических пленок оксида индия и олова

Предложен способ комбинированного нанесения прозрачных проводящих пленок оксида индия и олова, заключающийся в последовательном осаждении материала методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения на горячую подложку. Исследованы структурные особенности и оптические характеристики получаемых пленок. Рассматриваемый способ позволяет модифицировать плотность покрытия, а следовательно, профиль его эффективного показателя преломления. Контролируемое увеличение удельной поверхности пленок, достигаемое за счет роста нанокристаллов на второй стадии нанесения пленок, может быть востребовано в ряде новых приборов, например сенсорах.