RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2024, том 58, выпуск 8, страницы 424–433 (Mi phts6774)

Электронные свойства полупроводников

Электрические свойства сильно легированных азотом синтетических монокристаллов алмаза, выращенных при высоком давлении и температуре

С. Г. Бугаab, И. Н. Куприяновc, Ю. М. Борздовc, М. С. Кузнецовa, Н. В. Лупаревa, С. А. Носухинa, Б. А. Кульницкийab, Д. Д. Приходькоab, Ю. Н. Пальяновc

a Технологическимй институт сверхтвердых и новых углеродных материалов НИЦ "Курчатовский институт", 108840 Троицк, Москва, Россия
b Московский физико-технический институт, 141701 Долгопрудный, Московская обл., Россия
c Институт геологии и минералогии им. В. С. Соболева Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия

Аннотация: Методом температурного градиента при высоком давлении и температуре (TG-HPHT) выращены три монокристалла алмаза из ростовых сред Co–Fe–C-N и Ni–Fe–C–N с концентрацией атомов замещения азота (C-центров) в диапазоне (0.7–1.35) $\cdot$ 10$^{20}$см$^{-3}$. Из двух из них изготовлены образцы для исследования электрических свойств методом эффекта Холла в геометрии Ван дер Пау. Исследованы зависимости удельного сопротивления и коэффициента Холла от температуры, посредством чего рассчитаны температурные зависимости концентрации свободных электронов и их холловской подвижности. Для образца с концентрацией C-центров $\sim$10$^{20}$см$^{-3}$ исследована температурная зависимость электропроводимости. При $T>$ 650 K наблюдаются линейные участки зависимостей $\ln(\sigma)$ от обратной температуры $1/T$, на основании которых определены энергии активации проводимости 1.5–1.64 эВ, более высокие, чем у исследованных ранее образцов с меньшей концентрацией азота, выращенных таким же методом. В образцах c концентрацией C-центров 0.7 $\cdot$ 10$^{20}$ и 1.35 $\cdot$ 10$^{20}$см$^{-3}$ зависимости $\ln(n)$ от $1/T$ линейны во всем исследованном температурном диапазоне, на их основании рассчитаны значения энергии ионизации доноров 1.32, 1.53 эВ и коэффициенты компенсации, равные $k$ = 25 и 45%, что значительно превышает величины для алмазов с меньшей концентрацией азота, исследованных ранее. Сделано предположение, что акцепторами являются атомы железа, комплексы атомов железа и азота в позиции замещения, комплексы атомов железа с вакансиями, как предсказано теоретически, а также аналогичные примесные центры на основе атомов никеля и кобальта.

Ключевые слова: полупроводниковый алмаз $n$-типа, легирование азотом, электрическое сопротивление, холловская подвижность свободных электронов, энергия ионизации доноров, энергия активации проводимости.

Поступила в редакцию: 08.09.2024
Исправленный вариант: 06.10.2024
Принята в печать: 29.10.2024

DOI: 10.61011/FTP.2024.08.59201.7054



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025