Электронные свойства полупроводников
Электрические свойства сильно легированных азотом синтетических монокристаллов алмаза, выращенных при высоком давлении и температуре
С. Г. Бугаab,
И. Н. Куприяновc,
Ю. М. Борздовc,
М. С. Кузнецовa,
Н. В. Лупаревa,
С. А. Носухинa,
Б. А. Кульницкийab,
Д. Д. Приходькоab,
Ю. Н. Пальяновc a Технологическимй институт сверхтвердых и новых углеродных материалов НИЦ "Курчатовский институт", 108840 Троицк, Москва, Россия
b Московский физико-технический институт, 141701 Долгопрудный, Московская обл., Россия
c Институт геологии и минералогии им. В. С. Соболева Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия
Аннотация:
Методом температурного градиента при высоком давлении и температуре (TG-HPHT) выращены три монокристалла алмаза из ростовых сред Co–Fe–C-N и Ni–Fe–C–N с концентрацией атомов замещения азота (C-центров) в диапазоне (0.7–1.35)
$\cdot$ 10
$^{20}$см
$^{-3}$. Из двух из них изготовлены образцы для исследования электрических свойств методом эффекта Холла в геометрии Ван дер Пау. Исследованы зависимости удельного сопротивления и коэффициента Холла от температуры, посредством чего рассчитаны температурные зависимости концентрации свободных электронов и их холловской подвижности. Для образца с концентрацией C-центров
$\sim$10
$^{20}$см
$^{-3}$ исследована температурная зависимость электропроводимости. При
$T>$ 650 K наблюдаются линейные участки зависимостей
$\ln(\sigma)$ от обратной температуры
$1/T$, на основании которых определены энергии активации проводимости 1.5–1.64 эВ, более высокие, чем у исследованных ранее образцов с меньшей концентрацией азота, выращенных таким же методом. В образцах c концентрацией C-центров 0.7
$\cdot$ 10
$^{20}$ и 1.35
$\cdot$ 10
$^{20}$см
$^{-3}$ зависимости
$\ln(n)$ от
$1/T$ линейны во всем исследованном температурном диапазоне, на их основании рассчитаны значения энергии ионизации доноров 1.32, 1.53 эВ и коэффициенты компенсации, равные
$k$ = 25 и 45%, что значительно превышает величины для алмазов с меньшей концентрацией азота, исследованных ранее. Сделано предположение, что акцепторами являются атомы железа, комплексы атомов железа и азота в позиции замещения, комплексы атомов железа с вакансиями, как предсказано теоретически, а также аналогичные примесные центры на основе атомов никеля и кобальта.
Ключевые слова:
полупроводниковый алмаз
$n$-типа, легирование азотом, электрическое сопротивление, холловская подвижность свободных электронов, энергия ионизации доноров, энергия активации проводимости.
Поступила в редакцию: 08.09.2024
Исправленный вариант: 06.10.2024
Принята в печать: 29.10.2024
DOI:
10.61011/FTP.2024.08.59201.7054