Применение оксида марганца для повышения селективности газочувствительных пленок SnO$_x$

Для повышения селективности газочувствительных пленок SnO$_x$ были получены композитные структуры SnO$_x$/MnO$_y$, в которых оксид марганца играет роль фильтра, сорбирующего NO$_2$. Микроструктура и химический состав пленок были охарактеризованы с помощью растровой электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Структуры были протестированы на обнаружение 5 ppm NO$_2$ при комнатной температуре. Установлено, что сенсорный отклик пленок SnO$_x$ в присутствии NO$_2$ после нанесения фильтрующего слоя MnO$_y$ уменьшается в 16 раз.