Сравнительная морфология и фотолюминесценция пленок ZnO, полученных методами SILAR и вакуумного напыления

Получены функциональные слои оксида цинка на подложках из анодного оксида алюминия методами SILAR (Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, метод ионного наслаивания) и термического окисления в кислородсодержащей среде пленок цинка, осажденных в вакууме. Проведено исследование морфологии поверхности и сколов образцов пленок ZnO на подложках нанопористого оксида алюминия, а также получены спектры их фотолюминесценции. Установлены различия в структуре поверхности и оптических свойствах поликристаллических пленок ZnO в зависимости от условий получения.