Флуктуационный анализ микрорельефа поверхности структур кремний-на-изоляторе после радиационного воздействия

При помощи метода двумерного флуктуационного анализа проведена обработка изображений поверхности структур кремний-на-изоляторе. Установлено, что параметр Херста необлученной поверхности составляет $H_0$ = 0.93, облученной $\gamma$-квантами $H_\gamma$ = 0.71–0.87, облученной нейтронами $H_n$ = 0.91–0.94, что указывает на нестепенные корреляции функции высоты и процессы типа случайного блуждания для всех исследованных образцов. Рассмотрено влияние радиации на изменение среднеквадратичного отклонения и корреляционной длины микрошероховатости поверхности образцов на микроуровне и деградации подвижности носителей заряда на макроуровне.