RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2023, том 57, выпуск 3, страницы 131–137 (Mi phts6847)

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Влияние морфологии поверхности и границ раздела на продольную фононную теплопроводность в тонкопленочных структурах Ge(001) и Si/Ge(001)

А. Л. Хомецa, И. В. Сафроновb, А. Б. Филоновa, Д. Б. Мигасac

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 220089 Минск, Беларусь
b Белорусский государственный университет, 220030 Минск, Беларусь
c Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409 Москва, Россия

Аннотация: Методом неравновесной молекулярной динамики проведено исследование продольной фононной теплопроводности при 300 K в наноразмерных гомогенных Ge(001) и слоистых Si/Ge(001) пленках с $p$ (2$\times$1) поверхностной реконструкцией вдоль различных направлений. Установлено появление анизотропии теплового транспорта в рассматриваемых пленках, которая обусловлена как морфологией поверхности, так и резкими Si/Ge границами раздела. Для направления, когда димеры и Si–Ge-связи на границе раздела лежат в плоскости, параллельной направлению теплового потока, наблюдается наименьшая теплопроводность ($\sim$5–18 Вт/(м$\cdot$K) в диапазоне от $\sim$1 до 27 нм). Показано, что для пленок с толщинами $>$13 нм для всех направлений слоистые пленки обладают меньшей теплопроводностью по сравнению с гомогенными. При этом роль морфологии поверхности и границ раздела сводится к различной степени локализации фононов и компенсации более теплопроводящих слоев Si соответственно.

Ключевые слова: теплопроводность, молекулярная динамика, Si/Ge тонкие пленки, поверхность, границы раздела.

Поступила в редакцию: 24.03.2023
Исправленный вариант: 29.03.2023
Принята в печать: 29.03.2023

DOI: 10.21883/FTP.2023.03.55624.4742



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025