Исследование $p$–$i$–$n$-фотодетектора с поглощающей средой на основе InGaAs/GaAs квантовых яма-точек

Исследованы статические и динамические характеристики волноводных фотодетекторов c поглощающей областью на основе InGaAs/GaAs квантовых яма-точек при комнатной температуре. Спектральная полоса поглощения InGaAs/GaAs квантовых яма-точек лежит в диапазоне от 900 до 1100 нм. Фотодетекторы полосковой формы имеют ширину 50 мкм и длину поглощающей области от 92 до 400 мкм. Получено низкое значение плотности темнового тока (1.1 и 22 мкА/см$^2$ при -1 и -20 В соответственно) и предельное быстродействие 5.6 ГГц, ограниченное постоянной времени паразитной эквивалентной электрической RC-цепочки.