RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2023, том 57, выпуск 5, страницы 370–376 (Mi phts6885)

Электронные свойства полупроводников

Измерения удельного сопротивления легированных азотом монокристаллов алмаза типа Ib методом Ван дер Пау с контактами Ti–Pt в интервале температур 573–1000 K

С. Г. Бугаa, Г. М. Квашнинa, М. С. Кузнецовa, Н. В. Корниловa, Н. В. Лупаревa, М. Яоb

a Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, 108840 Москва, Троицк, Россия
b Государственная ведущая лаборатория сверхтвердых материалов, Цзилинь университет, 130012 Чанчунь, КНР

Аннотация: Методом Ван дер Пау в диапазоне температур 573–1000 K определены значения удельного электрического сопротивления квадратных алмазных пластин, легированных азотом в виде C-центров с концентраций 5; 55; 140 млн$^{-1}$. По результатам анализа первичных данных измерений рассчитаны значения удельного сопротивления в приближении точечных омических Ti–Pt-контактов, а также с учетом реальных размеров треугольных угловых контактов. Установлено, что вплоть до значения температуры 930 $\pm$ 50 K расхождения в значениях удельного сопротивления, полученные тремя различными способами анализа экспериментальных данных, не превышают 3–7%. Ti–Pt-контакты могут быть пригодны для применения в микроэлектронных и квантовых оптоэлектронных устройствах на основе алмазов, легированных азотом.

Ключевые слова: полупроводниковый алмаз $n$-типа, легирование азотом, омические контакты, удельное сопротивление.

Поступила в редакцию: 20.04.2023
Исправленный вариант: 02.06.2023
Принята в печать: 26.06.2023

DOI: 10.21883/FTP.2023.05.56206.4748



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025