RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2023, том 57, выпуск 6, страницы 476–483 (Mi phts6902)

Спектроскопия, взаимодействие с излучениями

Люминесцентные характеристики легированного хромом с помощью высокотемпературной диффузии CVD–ZnSe

В. П. Калинушкинa, А. А. Гладилинa, О. В. Уваровa, С. А. Мироновa, Н. Н. Ильичевa, М. И. Студеникинa, М. С. Сторожевыхa, Е. М. Гаврищукb, В. Б. Иконниковb, Н. А. Тимофееваb

a Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, 119991 Москва, Россия
b Институт химии высокочистых веществ РАН им. Г. Г. Девятых, 603951 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Методом двухфотонной конфокальной микроскопии в спектральном диапазоне 0.44–0.73 мкм исследовано пространственное распределение люминесцентных характеристик CVD–ZnSe, легированного хромом с помощью HIP-процесса. Установлено, что в результате этого процесса в кристалле образуются четыре типа примесно-дефектных центров. Показано, что в их образовании участвуют точечные центры, которые образуются в зоне легирования и диффундируют в глубь кристалла. Делаются предположения о природе этих точечных центров.

Ключевые слова: селенид цинка, двухфотонная конфокальная микроскопия, полупроводники, дефекты.

Поступила в редакцию: 01.06.2022
Исправленный вариант: 22.08.2023
Принята в печать: 28.08.2023

DOI: 10.61011/FTP.2023.06.56477.3886



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025