RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2023, том 57, выпуск 7, страницы 526–529 (Mi phts6912)

Международная конференция ФизикА.СПб, 23-27 октября 2023 г., Санкт-Петербург

Формирование одиночных и гетероструктурированных нитевидных нанокристаллов на основе твердых растворов $\mathrm{InAs}_{1-x}\mathrm{P}_x$ на $\mathrm{Si}(111)$

А. К. Кавеевab, В. В. Федоровac, Л. Н. Дворецкаяac, С. В. Фединаac, И. С. Мухинac

a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 195251 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследован рост массивов нитевидных нанокристаллов на основе $\mathrm{InAsP}$ на кремниевых подложках. Обнаружено, что в процессе роста формируются две структурных фазы: кубическая структура типа сфалерита и гексагональная структура типа вюрцита. Определены эпитаксиальные соотношения $\mathrm{InAsP}$ и $\mathrm{Si}$: $[0001]_{ННК}||[111]_{\mathrm{Si}}$, $[11\bar20]_{ННК}||[1\bar10]_{\mathrm{Si}}$. При формировании тонких ($<100$ нм) сегментов твердого раствора $\mathrm{InAs}_{1-x}\mathrm{P}_x$ и сохранении достаточно высокого парциального давления потока $\mathrm{As}$ (не менее $50$%) выявлено снижение скорости радиального роста и формирование аксиального гетероперехода.

Ключевые слова: $\mathrm{InAsP}$, нитевидные нанокристаллы, молекулярно-лучевая эпитаксия.

Поступила в редакцию: 10.05.2023
Исправленный вариант: 13.07.2023
Принята в печать: 30.10.2023

DOI: 10.61011/FTP.2023.07.56782.5018C



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025