Аннотация:
На основе данных рентгеновской рефлектометрии и ультрамягкой рентгеновской спектроскопии показана возможность управления пористостью поверхности с использованием многостадийных режимов электрохимического травления. Показано, как с ростом показателя пористости приповерхностного слоя изменяется морфология и увеличивается степень окисления образцов многослойного пористого кремния.
Полный текст:
PDF файл (388 kB)