Оптические свойства и структура пленок оксида индия, полученных при различных условиях магнетронного распыления

Обобщены результаты исследований структуры и оптических свойств серии пленок In$_2$O$_3$, полученных методом $dc$-магнетронного напыления на подложки Al$_2$O$_3$ (012). По данным рентгеноструктурного анализа, положение и полуширина пика, соответствующего плоскости (222) кубической модификации In$_2$O$_3$, зависят от времени напыления. Согласно эллипсометрическим измерениям и анализу спектров оптического пропускания, оптические свойства пленок, полученных при температуре 300$^\circ$C и более, – однородны, за исключением поверхностного слоя. Показатель преломления пленок, полученных при комнатной температуре, увеличивается в направлении от подложки к внешней поверхности. Отжиг устраняет эту неоднородность, а также уменьшает наблюдаемую ширину запрещенной зоны вследствие уменьшения концентрации дефектов решетки. Истинная ширина запрещенной зоны нечувствительна к отжигу.