Деформация тонких пленок полуметаллов методом купольного изгиба подложки

Представлены результаты исследования деформации пленок полуметаллов, создаваемой путем купольного изгиба подложки. Контроль деформации проводился методами рентгеноструктурного анализа. Показано, что метод купольного изгиба может быть использован для исследования пленок в условиях плоскостной деформации, возникающей в системе пленка-подложка вследствие различия коэффициентов температурного расширения материала пленки и подложки. Установлено, что деформация, создаваемая купольным изгибом подложки в сочетании с использованием подложек с различным температурным расширением, позволяет получить относительную плоскостную деформацию пленок висмута вплоть до 0.8% при 300 K.