Исследование взаимосвязи механических напряжений, оптической неоднородности и концентрации кислорода в кристаллах германия

Представлены результаты исследования радиального распределения механических напряжений, концентрации кислорода и оптической неоднородности в кристаллах германия диаметром 200 мм, легированных сурьмой, с удельным электрическим сопротивлением от 10.5 до 18.5 Ом $\cdot$ см, выращенных по методу Чохральского. Установлено, что остаточные напряжения, рассчитанные по данным рентгеноструктурного анализа, коррелируют с результатами численного моделирования термоупругих напряжений и взаимосвязаны со значениями оптической неоднородности и концентрации растворенного кислорода, присутствующего в германии в атомарно-диспергированном состоянии.