RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2022, том 56, выпуск 3, страницы 340–348 (Mi phts7020)

Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления

Оптические свойства кремниевых нанопилларов со встроенным вертикальным $p$$n$-переходом

Л. С. Басалаеваa, А. В. Царевab, К. В. Аникинa, С. Л. Веберbc, Н. В. Крыжановскаяd, Ю. В. Настаушевa

a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
c Международный томографический центр СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
d Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Представлены результаты исследования резонансного отражения света упорядоченными массивами кремниевых (Si) нанопилларов. Высота Si нанопилларов составляла 450 нм. Было изучено влияние процесса окисления Si нанопилларов в концентрированной азотной кислоте на положение резонансов в спектрах отражения. Доказано слабое влияние дополнительного полимерного покрытия на характеристики отражения от структур. На основе результатов экспериментального исследования и прямого численного моделирования с применением трехмерного алгоритма конечных разностей во временной области (3D FDTD) установлено, что зависимость резонансной длины волны Si нанопилларов от диаметра Si нанопилларов является линейной функцией c ненулевым смещением, зависящим от периода.

Ключевые слова: кремниевые нанопиллары (наностолбики), структурный цвет, диэлектрическая нанофотоника.

Поступила в редакцию: 10.11.2021
Исправленный вариант: 20.11.2021
Принята в печать: 20.11.2021

DOI: 10.21883/FTP.2022.03.52121.9761



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025