Сравнительное исследование фотоэлементов на основе кремния, легированного никелем различными методами

Сравнивались параметры фотоэлементов на основе кремния, легированного примесными атомами никеля методами диффузии и при выращивании. Установлено, что фотоэлементы, легированные примесными атомами никеля при выращивании кремния, имеют улучшение параметров, сравнимое с полученным методом диффузионного легирования. Дополнительная термообработка при $T$ = 800$^\circ$C позволяет заметно улучшить основные параметры фотоэлементов.