RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2022, том 56, выпуск 7, страницы 659–666 (Mi phts7079)

XXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" , Нижний Новгород, 14-17 марта 2022г.

Взаимосвязь электронной и атомной структуры пассивированных поверхностей $n$-InP(100)

М. В. Лебедевa, Т. В. Львоваa, А. Н. Смирновa, В. Ю. Давыдовa, А. В. Королеваb, Е. В. Жижинb, С. В. Лебедевb

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Электронная и атомная структуры обработанных различными сульфидными растворами поверхностей $n$-InP(100) исследовались с помощью методов фотолюминесценции, спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Показано, что сульфидная обработка приводит к удалению слоя естественного окисла с поверхности полупроводника и формированию на ней пассивирующего покрытия, состоящего из химических связей In–S, структура которых зависит от состава раствора и исходной атомной структуры поверхности полупроводника. Одновременно происходит возрастание интенсивности фотолюминесценции и сужение приповерхностной обедненной области. Атомная структура пассивирующего покрытия определяет суммарный дипольный момент, который в свою очередь модифицирует пространственное распределение потенциалов зон и, как следствие, электронную структуру поверхности.

Ключевые слова: модификация поверхности, сульфидная пассивация, спектроскопии комбинационного рассеяния света, фотолюминесценция, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.

Поступила в редакцию: 02.03.2022
Исправленный вариант: 25.03.2022
Принята в печать: 25.03.2022

DOI: 10.21883/FTP.2022.07.52756.11



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025