RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2022, том 56, выпуск 10, страницы 954–960 (Mi phts7131)

Спектроскопия, взаимодействие с излучениями

Фотолюминесценция растянутых Ge микромостиков при различных температурах: эксперимент и моделирование

Н. А. Байдаковаa, А. Н. Яблонскийa, Н. С. Гусевa, К. Е. Кудрявцевa, Е. Е. Морозоваa, Д. В. Юрасовa, В. Я. Алешкинab, А. В. Неждановb, А. В. Новиковab

a Институт физики микроструктур РАН, 607680 Нижний Новгород, Россия
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Представлены результаты экспериментального исследования и теоретического моделирования спектров фотолюминесценции растянутых Ge микромостиков с улучшенным теплоотводом от активной области. Показано, что в исследуемых структурах во всем рассмотренном диапазоне температур (от 80 до 300 K) основной вклад в сигнал фотолюминесценции микромостиков вносит сигнал, связанный с излучательными переходами из $\Gamma$-долины в валентную зону. В работе также обсуждается влияние эффектов самопоглощения в Ge и интерференции излучения в исследуемых структурах на вид спектров фотолюминесценции Ge микромостиков. Продемонстрировано, что в отличие от свободновисящих мостиков Ge микромостики, в которых для улучшения теплоотвода реализована адгезия к нижележащим слоям, не подвергаются дополнительному растяжению при уменьшении температуры.

Ключевые слова: SiGe структуры, деформация, растянутый Ge, фотолюминесценция, моделирование спектров.

Поступила в редакцию: 01.04.2022
Исправленный вариант: 20.09.2022
Принята в печать: 17.10.2022

DOI: 10.21883/FTP.2022.10.53955.9852



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025