Изменение адсорбционных свойств графена в процессе получения биосенсоров вирусных инфекций

Показано, что известный эффект локального взаимодействия графена с фоторезистом при создании биосенсоров приводит к неоднородному распределению сжимающих напряжений. Это ухудшает адсорбционные свойства графена, воспроизводимость параметров и детектирующую способность биосенсоров вирусов гриппа В и коронавируса SARS-СoV-2. Показано также, что контроль появления областей локального взаимодействия графена с фоторезистом на поверхности графена методами атомно-силовой микроскопии или введение защитного слоя между графеном и фоторезистом позволяют свести к минимуму негативное влияние эффекта локального взаимодействия графена с фоторезистом. Представлены результаты визуализации вирусов гриппа В и SARS-СoV-2 на поверхности графена в чипах биосенсоров в растровом электронном микроскопе.