Оптимизация параметров кремниевого электрооптического фазовращателя, работающего на эффекте обеднения свободными носителями

Выполнена оптимизация геометрических размеров поперечного сечения и концентраций легирующих примесей $p$–$n$-перехода электрооптического фазовращателя на основе обедненного кремния свободными носителями методом градиентного спуска. Полученная в результате моделирования конфигурация обеспечивает баланс между эффективностью фазового сдвига и потерями на свободных носителях. Кроме того, определена область геометрических параметров, реализующая одномодовый режим высоколегированных волноводов неполного травления. Предложенная методика и полученные результаты могут быть полезны для проектирования интегральных фотонных устройств.