Энергии миграций междоузельных $d$-примесей в кремнии

Рассчитаны энергетические барьеры миграций нейтральных междоузельных примесей переходных металлов в кремнии полуэмпирическими методами, в основе которых лежат представления о потенциалах взаимодействия примесного атома с атомами полупроводникового кристалла. Энергия отталкивания вычислена с использованием квантово-химического подхода Милликена. Учтен кристаллический потенциал в междоузельном пространстве. Теоретические расчеты хорошо согласуются с экспериментальными результатами.