Влияние поверхностной модификации катализаторами на газовую чувствительность пленок SnO$_2$+3% SiO$_2$

Тонкие пленки SnO$_2$+3% SiO$_2$ (250 нм), изготовленные методом магнетpонного распыления в контролируемой атмосфере Ar+O$_2$, использованы в качестве сенсорных элементов в датчике газов, изоготовленном по микроэлектронной технологии. Датчик содержит два чувствительных элемента, один из которых использовался как контрольный, а на поверхность второго наносился водный раствор (3, 6, 9, 12 ммоль) нитрата серебра Ag(NO$_3$) или хлорида палладия PdCl$_2$. Установлено, что поверхностная модификация катализаторами снижает температуру максимальной газовой чувствительности SnO$_2$+3% SiO$_2$ на 100–200$^\circ$C, а в некоторых случаях также и увеличивает величину максимальной газовой чувствительности в несколько раз.