Характеризация автоэмиссионных катодов на основе пленок графена на SiC

Проведена оценка свойств острийного автоэмиссионного катода, представляющего собой структуру, выполненную в виде острия из карбида кремния, покрытого тонкой пленкой графена. Для острийного катода с графеновым покрытием построены вольт-амперные характеристики в координатах Фаулера–Нордгейма, по наклону которых были рассчитаны величины работы выхода $\varphi$ из острийного катода. Показана возможность формирования на острийной поверхности сильно легированного $n^+$-SiC методом сублимации низкопороговых автоэмиссионных катодов с низкими пороговыми величинами электрического поля и тока автоэлектронной эмиссии.