Аннотация:
Методом нестационарной емкостной спектроскопии глубоких уровней
(НЕСГУ) определен энергетический спектр и проанализированы дозовые
зависимости концентрации глубоких уровней (ГУ), возникающих в InP
(${n\approx10^{15}\,\text{см}^{-3}}$) в результате облучения
$\gamma$-квантами $^{60}$Со при 40$^{\circ}$С. Наблюдалось образование по меньшей мере шести электронных ловушек
E1$-$E6.
Установлено, что ловушки E2 и E6 (энергии активации
термоэмиссии 0.19 и 0.7 эВ) вводятся сублинейно с потоком
облучения. Показано, что образование дефекта, обусловливающего
уровень E6, характеризуется наибольшей начальной скоростью введения
(${7\cdot 10^{-3}\,\text{см}^{-1}}$) и не приводит к удалению
основных носителей заряда (ОНЗ). Определено, что скорость удаления ОНЗ в
$n$-InP при облучении $\gamma$-квантами $^{60}$Со на порядок меньше,
чем в GaAs, и близка к соответствующим значениям для Si.