М. Г. Мынбаева, С. П. Лебедев, А. А. Лаврентьев, К. Д. Мынбаев, А. А. Головатенко, А. А. Лебедев, В. И. Николаев, “Эффект самоструктурирования пластин монокристаллического кремния в условиях индукционного нагрева в вакууме”, Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 3,страницы 364

Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники

Эффект самоструктурирования пластин монокристаллического кремния в условиях индукционного нагрева в вакууме

М. Г. Мынбаева^a, С. П. Лебедев^a, А. А. Лаврентьев^a, К. Д. Мынбаев^ab, А. А. Головатенко^abc, А. А. Лебедев^a, В. И. Николаев^abc

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101 Санкт-Петербург, Россия
^c ООО "Совершенные кристаллы", 194021 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Сообщается о наблюдении эффекта самоорганизованного структурирования поверхности пластин монокристаллического кремния в условиях высокочастотных отжигов, проводимых в углеродосодержащей атмосфере. Выявленный эффект может быть использован для создания новых безмасочных способов формирования структурированных материалов различного функционального назначения.

Поступила в редакцию: 17.07.2013
Принята в печать: 19.08.2013