Спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$, синтезированных реактивным высокочастотным магнетронным распылением титана

Исследованы оптические спектры поглощения тонких пленок TiO$_2$ разного фазового состава (анатаз, рутил–брукит, анатаз–рутил–брукит), полученных высокочастотным реактивным магнетронным распылением титана в разных атмосферах. Показана возможность применения метода вычитания спектров отдельных фаз в предположении аддитивности вклада каждой фазы в общий спектр при известной ее доле в слое. Выделены спектры фундаментального поглощения всех кристаллических модификаций многофазных пленок, обнаруженных при структурных исследованиях, и установлены края оптических переходов всех составляющих.