Влияние нейтронного облучения на структуру кремниевых диффузионных $p$–$n$-переходов ограничителей напряжения

Проанализировано изменение вольт-фарадных характеристик $p$–$n$-переходов с линейным или близким к нему распределением нескомпенсированного заряда под воздействием нейтронного облучения. Подтверждено, что в результате такого воздействия вблизи $p$–$n$-перехода образуется область с собственной проводимостью. Получены эмпирические формулы, описывающие зависимость размеров этой области, а также эффективного градиента концентрации нескомпенсированного заряда от флюенса нейтронов в широком диапазоне начальных значений (до воздействия нейтронов) градиента концентраций (от 3 $\cdot$ 10$^{18}$ до 2 $\cdot$ 10$^{20}$ см$^{-4}$) и исходных значений удельного сопротивления кремния (от 0.3 до 2 Ом $\cdot$ см).