Изменение электрофизических свойств кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния под воздействием паров воды

Исследованы зависимости поверхностного потенциала и плотности поверхностных состояний кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния от влажности окружающей газовой среды. На основании модели влагочувствительности таких структур, находящихся в режимах обеднения и слабой инверсии, получено аналитическое выражение, связывающее поверхностных потенциал с влажностью, параметрами окисла, полупроводника и границы раздела окисле-полупроводник. Проведенные расчеты подтвердили справедливость этого выражения и позволили установить критерии линейности зависимости поверхностного потенциала от влажности. Исследованы зависимости поверхностного потенциала и плотности поверхностных состояний кремниевых МОП-структур с наноразмерным окислом кремния от влажности окружающей газовой среды. На основании модели влагочувствительности таких структур, находящихся в режимах обеднения и слабой инверсии, получена аналитическая зависимость поверхностного потенциала от влажности и определены критерии ее линейности. Справедливость аналитической зависимости подтверждена экспериментально.