RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 8, страницы 1123–1131 (Mi phts7678)

Эта публикация цитируется в 10 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Структурные и оптические свойства высоколегированных твердых растворов Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_{1-y}$P$_y$ : Mg, полученных методом МОС-гидридной эпитаксии

П. В. Серединa, А. С. Леньшинa, А. В. Глотовa, И. Н. Арсентьевb, Д. А. Винокуровb, И. С. Тарасовb, T. Prutskijc, H. Leisted, M. Rinked

a Воронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Instituto de Ciencias, Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, 3417, Col San Miguel Hueyotlipan, 72050 Puebla, Pue., Mexico
d Karlsruhe Nano Micro Facility, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany

Аннотация: Методами высокоразрешающей рентгеновской дифракции, рамановской и фотолюминесцентной спектроскопии изучены структурные, оптические и энергетические свойства твердых растворов Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_{1-y}$P$_y$ : Mg, выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Показано, что введение примеси магния в четырехкомпонентный твердый раствор обеспечивает высокую концентрацию носителей заряда. Уменьшение температуры роста приводит к снижению концентрации носителей заряда в пленках, легированных магнием с малым потоком газа-носителя акцепторной примеси, в то время как повышение потока приводит к возрастанию концентрации акцепторной примеси, что отражается на характере спектров фотолюминесценции.

Поступила в редакцию: 02.12.2013
Принята в печать: 23.12.2013


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2014, 48:8, 1094–1102

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025