Синтез многокомпонентных металлооксидных пленок различного состава (SnO$_2$)$_x$(ZnO)$_{1-x}$ ($x$ = 1–0.5)

Использованы высокочистые порошки SnO$_2$ и ZnO, полученные из растворов солей соответствующих металлов методом низкотемпературного гидротермального синтеза. Методом сухого прессования изготовлены фрагменты керамических мишеней SnO$_2$ и ZnO в виде брусков размером 1 $\times$ 8 см, которые использованы в качестве составных мишеней для ионно-лучевого распыления и изготовления пленок переменного состава (SnO$_2$)$_x$(ZnO)$_{1-x}$, $x$ = 1 – 0.5, пригодных для создания устройств газовой сенсорики или прозрачной электроники. Исследованы оптические и электрические параметры прозрачных пленок переменного состава.