А. Ю. Егоров, П. Н. Брунков, Е. В. Никитина, Е. В. Пирогов, М. С. Соболев, А. А. Лазаренко, М. В. Байдакова, Д. А. Кириленко, С. Г. Конников, “Многопериодные квантово-каскадные наногетероструктуры: эпитаксия и диагностика”, Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 12,страницы 1640

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления

Многопериодные квантово-каскадные наногетероструктуры: эпитаксия и диагностика

А. Ю. Егоров^a, П. Н. Брунков^ab, Е. В. Никитина^a, Е. В. Пирогов^a, М. С. Соболев^a, А. А. Лазаренко^a, М. В. Байдакова^b, Д. А. Кириленко^b, С. Г. Конников^b

^a Санкт-Петербургский академический университет — научно-образовательный центр нанотехнологий РАН (Академический университет), 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Обсуждаются успехи технологии производства многопериодных наногетероструктур квантово-каскадных лазеров, с числом каскадов равным 60, методом молекулярно-пучковой эпитаксии с использованием промышленной многоподложечной установки. Приведены результаты исследования наногетероструктур квантово-каскадных лазеров методами просвечивающей электронной микроскопии, рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения и картографирования фотолюминесценции.

Поступила в редакцию: 20.05.2014
Принята в печать: 30.05.2014