RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 4, страницы 516–520 (Mi phts7879)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Физика полупроводниковых приборов

Полевой транзистор на основе наностержней ZnO с изменяемым пороговым напряжением отсечки

А. Н. Грузинцевa, А. Н. Редькинa, C. Opokub, М. Н. Шкуновa

a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 142432 Черноголовка, Россия
b Advanced Technology Institute, University of Surrey, Guildford, GU2 7XH, UK

Аннотация: Посвящена изготовлению и электрическим параметрам полевых транзисторов (FETs) с коротким каналом (2 мкм) на основе наностержней ZnO. Для изготовления полевых транзисторов использовались наностержни ZnO, полученные методом CVD-синтеза без катализатора. Хотя полевые транзисторы из коротких монокристаллических наностержней ZnO имеют хорошие электрические параметры: крутизну 100 нС, подвижность носителей 6 см$^2$/(B $\cdot$ с) и большой коэффициент запирания 10$^4$, их характеристики зависят от длины наностержней. Исследовано влияние величины напряжения сток-исток на значение порогового напряжения отсечки на затворе.

Поступила в редакцию: 30.05.2012
Принята в печать: 21.06.2012


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2013, 47:4, 538–542

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025