Изучение морфологии и оптических свойств анодных оксидных слоев на InAs(111)A

Методами атомно-силовой микроскопии и спектральной эллипсометрии изучено влияние состава электролита на морфологию поверхности и дисперсионные зависимости показателя преломления и коэффициента поглощения анодных слоев толщиной $\sim$ 20 нм на InAs(111)A. Показано, что окисление в электролитах различной кислотности не изменяет морфологию поверхности исходных подложек InAs. Образующиеся пленки имеют близкие дисперсионные зависимости, несмотря на различие их химического состава, что позволяет контролировать толщину анодных слоев на подложках InAs с высокой точностью методом эллипсометрии с использованием оптической модели однослойной изотропной пленки на поглощающей продложке.