Аннотация:
Методом малосигнального анализа электрического отражения проведены исследования высокочастотных электрических свойств электрооптического модулятора, монолитно интегрированного в вертикально излучающий лазер. Полученные экспериментальные данные аппроксимированы с помощью предложенной эквивалентной электрической схемы, учитывающей формирование неравновесных пространственных зарядов в обедненной носителями заряда области модулятора. Полоса частот передачи высокочастотного электрического сигнала на электрооптически чувствительную область, определенная для предложенной электрической схемы замещения модулятора, составила 3 ГГц.