Электрические свойства кремниевых диодов Шоттки, содержащих металлические пленки различного состава

Получены и исследованы диоды Шоттки Au$_x$Ti$_{100-x}$/$n$-Si, а также изучены электрофизические свойства диодов, содержащих металлические пленки различного состава ($x$ = 0, 14, 30, 38, 60, 80, 100). Рентгенофазовым анализом установлено, что пленка сплава Au$_{38}$Ti$_{62}$ имеет аморфную структуру, а остальные пленки Au$_x$Ti$_{100-x}$ – поликристаллическую. Определены основные параметры диодов Шоттки в зависимости от состава и структуры пленок металла. В результате выявлено, что электрофизические свойства диодов Шоттки Au$_x$Ti$_{100-x}$/$n$-Si связаны с изменением состава и структуры пленок металла.