Аннотация:
В рамках самосогласованного решения уравнений Шрёдингера и Пуассона предложена быстрая схема вычисления поверхностной дифференциальной емкости полупроводниковой пленки в случае омического контакта на тыльной стороне. Метод рассмотрен на примере германия. Сравнение с результатами феноменологического расчета выявило специфику влияния эффектов размерного квантования на вольт-фарадную характеристику пленки.
Поступила в редакцию: 07.06.2012 Принята в печать: 13.12.2012