Влияние условий получения пленок полиморфного кремния на их структурные, электрические и оптические свойства

Исследовались структурные, оптические и фотоэлектрические свойства пленок полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения из газовой смеси моносилана и водорода при высоком давлении. Изменение давления газовой смеси при получении пленок не приводило к существенному изменению измеренных для них спектров рамановского рассеяния, но вызывало изменение величины фотопроводимости и формы спектральной зависимости коэффициента поглощения, измеренной методом постоянного фототока. Наблюдаемое изменение оптических и фотоэлектрических параметров пленок связывается с некоторым изменением их структуры при изменении параметров осаждения.