Физика и техника полупроводников,
2013, том 47, выпуск 10,страницы 1344–1346(Mi phts8037)
Полупроводниковые структуры, низкоразмерные системы, квантовые явления
Влияние температуры отжига на низкотемпературную фотолюминесценцию в светоизлучающих структурах Si:Er, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
Аннотация:
Исследованы спектры фотолюминесценции при 4.2 K в светоизлучающих структурах на основе кремния, легированного эрбием в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии при температуре 500$^\circ$С, после отжига при 800–900$^\circ$С. Выявлены три серии линий, принадлежащих излучающим центрам эрбия в кремнии с низкой концентрацией примеси кислорода.
Поступила в редакцию: 04.03.2013 Принята в печать: 18.03.2013