RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 10, страницы 1371–1375 (Mi phts8042)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Микро- и нанокристаллические, пористые, композитные полупроводники

Исследование механизмов взаимодействия NO$_2$ и поверхности слоев нанокомпозита por-Si/SnO$_x$

В. В. Болотов, В. Е. Кан, Р. К. Макушенко, М. Ю. Бирюков, К. Е. Ивлев, В. Е. Росликов

Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, 644018 Омск, Россия

Аннотация: Методами спектроскопии инфракрасного поглощения и электронного парамагнитного резонанса исследованы механизмы взаимодействия молекул NO$_2$ с поверхностью нанокомпозитов por-Si/SnOx, полученных методами магнетронного напыления и CVD (chemical vapor deposition). Наблюдаемое увеличение концентрации свободных носителей заряда в слоях нанокомпозитов por-Si/SnO$_x$ объясняется изменением зарядового состояния $P_b$-центров за счет образования нейтрального комплекса "поверхностный дефект-адсорбированная молекула NO$_2$" с генерацией свободного носителя заряда в объеме кристаллита. В слоях нанокомпозита, полученного методом CVD, рост концентрации свободных дырок при адсорбции NO$_2$ значительно менее выражен в сравнении с композитом, полученным методом магнетронного напыления, что обусловлено конкурирующим каналом взаимодействия молекул NO$_2$ с электронейтральными $P_b$-центрами.

Поступила в редакцию: 16.01.2013
Принята в печать: 21.01.2013


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2013, 47:10, 1362–1366

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025